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高洁净度与防微振的空心承重楼板施工工法文档
资料目录
- 1 前言
- 2 特点
- 3 适用范围
- 4 材料性能
- 5 工艺原理
- 6 工艺流程及操作方法
- 7 机具设备
- 8 劳动组织
- 9 质量标准及检验方法
- 10 安全措施
- 11 效益分析
- 12 工程实例
内容简介
1 前言
集成电路生产厂房中工艺生产层的面积通常达到10000m2并具有高洁净度与防微振的要求对工艺生产层较多采用空心承重楼板(华夫板)的形式。为实现100 级或更高洁净度(注:100级洁净度要求洁净室内每m3空气中的直径小于0.1μm 的粒子个数不超过100 个)要求时洁净室正压控制采用垂直层流的气流组织洁净空气自顶棚向下带走尘埃经楼板所布满的垂直贯通孔(回风口)排向下层,楼板的开孔面积率达到25%。在建筑结构的防微振设计中工艺生产层采用大厚度现浇钢筋混凝土楼板以增强结构水平刚度一般设计厚度为600~1200mm在楼板布设密孔可减小自重。高洁净度的控制为减少发尘楼板及其孔壁的混凝土需要采取环氧树脂类材料封闭。采用不拆式玻璃钢制华夫板模板进行空心承重楼板的施工通过标准模板和异型板的组合铺排达到现浇混凝土楼板的成孔设计要求。华夫模板不作拆除固附于楼板混凝土面可满足洁净室要求的混凝土构件饰面不发尘的效果可取代环氧树脂涂料的饰面层。空心承重楼板的现浇结构施工中采用该新型模板材料总结形成一套施工工法对高洁净度与防微振工程的施工具有推广应用作用。
2 特点
高洁净度与防微振空心承重楼板需要满足的功能需求决定其施工的特点:
2.1 高洁净度要求在混凝土裂缝控制、耐久性、外观质量方面严格混凝土按普通混凝土高性能化的技术路线确保混凝土的高质量要求混凝土施工的整体性和抗收缩裂缝性能是重要质量指标。
2.2 楼板面需直接做超洁净环氧地坪混凝土浇筑时原浆收光找平对板面混凝土密实度和表面强度要求严格。
2.3 防微振设计采取密孔大厚度楼板的形式大厚度现浇板施工施工的整体性后浇带质量控制要求严格。
2.4 采用的华夫板模板是钢筋混凝土现浇楼板的一种工具式模板采用玻璃钢材料制作模板留孔形式分为梯形和圆形高度600~1200mm。该模板可保证成孔准确楼面高平整度具有光洁度好、底面和孔壁可节约环氧涂料装饰层。施工时需要作建筑模板作胎膜。华夫板底面示意图如下:
3 适用范围
适用于具有高洁净度和防微振功能要求的密孔钢筋混凝土现浇楼板目前在芯片厂洁净室室应用广泛。
共8000余字
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