表面应力对微悬臂梁传感器本征频率的影响
资料介绍
表面应力对微悬臂梁传感器本征频率的影响 ，在对微悬臂梁传感器本征频率的分析中,一般都忽略了表面应力的影响,由此计算出的吸附质量可能是不精确的。为此,本文从表面应力和单位表面自由能的关系出发,把表面自由能算入微悬臂梁运动的总能量中,根据哈密顿原理推
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