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MEMS微悬臂梁可靠性研究 现状 论文关键词：MEMS　微悬臂梁　可靠度论文摘要： MEMS(Micro-electronicsMechanical System)的可靠性已经成为它能否成功地实现产品化的一个 重要问题。
多晶硅微悬臂梁是MEMS中的一个基本结构，作为 机电结合的元件，在MEMS中具有不可替代的位置。
本文就近 年来国内外所开展的有关多晶硅微悬臂梁的在多种失效机理 下可靠性研究情况进行了综述，并对今后这一领域的研究方 向进行了展望。
Keywords:MEMS;micro-cantilever; reliabilityAbstract:ThereliabilityofMEMSisa keyproblemforitscommercialapplication.Poly siliconmicrocantileversisabasicstructure,as acombinationofmechanicalandelectrical components,placeanirreplaceablepartinMEMS.In thispaper,athomeandabroadinrecentyears carriedoutbytherelevantsiliconmicro-cantilever inavarietyofthefailuremechanismunderthe reliabilityoftheresearcharereviewed,The prospectiveresearchdirectionsoftheReliability 1forpolysiliconmicrocantileverinthefuture areforecasted. 　　1引言微 电子机械系统简称MEMS(Micro ElectroMechanical Systems)已广泛用于国防、医疗、航空航天、汽车等领域， 如今人们已不满足于MEMS某些系统功能的实现，而更多地关 注MEMS结构的优化设计、工作的稳定性和可靠性等问题。
这 就对所用的材料、结构力学的性能检测和破坏机理的研究提 出了新的要求。
微机构的材料特性，包括残余应力、应变、 弹性变量、硬度、抗拉强度、热导率和热扩散率等，是决定 微机械特性的重要参数。
悬臂梁是MEMS器件中常见的可动结 构，作为机电结合的元件，在MEMS中具有不可替代的位置。
MEMS器件在工作时会受到静电力或其它静态载荷的作用，同 时器件在存储、运输和使用的过程中也将受到不同程度的冲 击和碰撞，在冲击作用下，MEMS器件可能会发生断裂、分层 和粘附等