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高阶谐振模态的超高质量分辨硅微悬臂梁压阻传感器.pdf

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高阶谐振模态的超高质量分辨硅微悬臂梁压阻传感器 ，开发了一种在空气中具有几十飞克质量分辨率的谐振式微机械悬臂梁生化质量检测传感器. 在悬臂梁上面实现了使用惠斯通压阻电桥检测和洛伦兹力线圈驱动集成结构. 与通常的一阶模态谐振传感器不同,为了显著提高传感器特异性反应...欢迎下载！
3 11 11 222 1 第 27卷 　第 8期 半 　导 　体 　学 　报 Vol.27　No.8 2006年 8月 CHINESEJOURNALOFSEMICONDUCTORSAug.,2006 高阶谐振模态的超高质量分辨硅微 悬臂梁压阻传感器 刘 　剑 　李昕欣 　金大重 　刘 　民 　王跃林 　左国民 　余海涛 　包菡涵 (中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室,上海　200050) 3 摘要:开发了一种在空气中具有几十飞克质量分辨率的谐振式微机械悬臂梁生化质量检测传感器.在悬臂梁上面 实2现2了使用惠斯2通2压阻电桥检测和洛伦兹力线圈驱动集成结构.与通常的一阶模态谐振传感器不同,为了显著提 高传


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