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InP基MOEMS可调谐器件的梁变形模拟.pdf

投稿: 随风更新: 2011-09-18 浏览: 3次

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内容介绍

InP基MOEMS可调谐器件的梁变形模拟，InP基微光机电系统(MOEMS)可调谐器件的梁在实验中常出现弯曲变形的现象,其原因是在生长的时候,As原子进入InP梁,产生了内部梯度应力. 使用有限元分析软件,建立了一种无须测量内部应力的模拟梁变形的方法. ...欢迎下载！

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文件大小

920.3KB

上传作者

随风

文件类型

.pdf