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考虑微磁芯磁阻的分布参数微梁执行器小信号宏模型.pdf

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2011-09-17
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小雨纷纷
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考虑微磁芯磁阻的分布参数微梁执行器小信号宏模型 ，以多级弯曲磁微梁执行器为研究对象,先采用梁的模态函数线性组合来逼近梁的变形曲线,然后利用磁路定律,考虑了在宏观磁执行器中忽略的磁芯磁阻,建立了考虑力-磁耦合的非线性方程组,克服了以往的磁微执行器模型不能考虑力?泊...欢迎下载！
3 2 22 2 2222 2 2 2 第 26卷 　第 8期 半 　导 　体 　学 　报 Vol.26　No.8 2005年 8月 CHINESEJOURNALOFSEMICONDUCTORSAug.,2005 考虑微磁芯磁阻的分布参数微梁执行器 小信号宏模型 方玉明1,2　黄庆安1　李伟华1 (1东南MEMS教育部重点实验室,南京　210096) 3(2南京邮电学院信息工程系 ,南京　210003) 22228


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