关于提高出口级硅片的试验计划.doc
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关于提高出口级硅片比率的试验计划
一、目的:提高出口级硅片的比率,特别是近期满足台湾科冠的发货要求。
出口级AAA片 AAA片
二、原因分析:在最近几天,我部出现黑斑片和边缘胶迹片增多的情况,主要的原 因是预清洗房水压不够,粘胶室硅块较脏,脱胶时清理不干净,清洗机效果不好 等。
1月6号开始我们已经进行了一些清洗的工艺的调整,AA片转化为AAA片比率增 加。
三、分项试验计划:
1、 粘胶 粘胶之后将硅片表面清理干净。
(清理硅块表面一定要及时,时间长了以后, 即使用丙酮也很难将表面的脏物清洗干净) 粘胶室未清理表面前 粘胶室清理表面后
2、 预清洗 要求工程部保证水压的稳定,并保证足够的冲洗时间; 保证硅片要浸入水中,以免在空气中氧化; 保证表面的胶一定要清理干净,四条边都要清理干净。
3、 清洗 每槽增加一分钟清洗时间; 将药剂用量适当加大。
4、 分拣 重拣AAA片,在其中挑选出一部分合格的出口级片; 将AAA硅片进行处理,主要是边缘的胶迹进行处理,拟用砂纸打磨和丙酮擦 拭。
四、成员组成: 项目负责人:付德林,林青云 粘胶区负责人:王诗合 粘胶各班:何刚,吴英武,张向东,彭开华 清洗区负责人:尹吉星 清洗各班:谭志平,张存新,宋爱军,范江 王诗合、尹吉星负责监督实施计划,尹吉星负责试验结果报告的作成。
五、本试验从2007年1月7日开始实施。
制造二部 8
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大山
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