基于ANSYS的之字型微谐振器的仿真分析.pdf

基于ANSYS的之字型微谐振器的仿真分析 ，ansys。
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)*)&器件与技术 !"!#$%&’(%)*%(+,-.-/0 基于ANSYS的之字型 微谐振器的仿真分析 袁 磊，沈雪瑾，张鹏程，陈晓阳 （上海机械自动化系，上海!"""#!） 摘要：利用大型通用有限元仿真软件 $%&’&#("，对之字型微谐振器的简化力学模型进行静态和 模态分析，得到水平方向的最大位移和谐振频率等重要性能参数。
将仿真结果与理论分析计算 的结果进行对比，两者有较好的一致性。
关键词：微谐振器；$%&’&；建模；仿真 中图分类号：+/0"’；1##%文献标识码：2文章编号：%30%4#003（!""&）"&4"!’’4"# !"#$%&’"()*)&%+,",(-."/0(01,()&’(0,2"’3 4%15$($,!$,61),"(),7&,18()*9!:! 562789:，*/)7;<94=:-，>/27?@9-.4AB9-.，C/)7;:,D4E,-. （!"#$%&’"(&)*+",-$(.,$/01&)’$&.)(，2-$(3-$.4(.5"%6.&7，2-$(3-$.!"""0!，8-.($） *;,’0&/’：F,G9HD-27*5*0I"，JB9.9-9K,LM)(G:N