基于 C D的在线厚度测量方法研究 C.pdf
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第 卷第 期增刊 仪器 仪 表 学 报 年 月 基于 的在线厚度测量方法研究 刘 瑾‘ 杨海马“ 张 普‘ ‘上海工程技术电子电气工程学院 上海 “上海理工光学与电子信息工程学院 上海 摘 要 基于光学三角法的测量原理，采用 作为光电转换器件，根据成像于 上的像点的位移变化来实现物体厚度 或微位移变化的测量方法 ，具有高精度、高灵敏度等优点。
该方法能够实现在线动态检测和非接触测量 。
关握词 光学三角法 在线测量
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大山
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