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旋片式真空泵
单级旋片泵结构与工作原理 时间:2008-09-07来源:真空技术网整理编辑:真空技术网 单级旋片泵只有一个工作室。
泵主要由定子、旋片、转子组成。
在泵腔内偏心地装有转子 ，转子槽中装有两块旋片，由于弹簧弹力作用而紧贴于缸壁(转动后还有旋片离心力)。
转子和旋片将定子腔分成吸气和排气两部分。
图5：单级旋片式真空泵工作原理图 当转子在定子腔内旋转时周期性地将进气口方面容积逐渐扩大而吸入气体，同时逐 渐缩小排气口一侧的容积将已吸入的气体压缩并从排气阀排出。
排气阀浸在油里以防止大气流入泵中。
泵油通过油孔及排气阀进入泵腔，使泵腔内所 有的运动表面被油覆盖，形成了吸气腔与排气腔之间的密封。
双级旋片泵的结构与工作原理 时间:2008-09-07来源:真空技术网整理编辑:真空技术网单级旋片泵一般极限压力只能达到1.3Pa(个别可达0.1Pa)，为什么极限压力不能再低 呢？主要由于： (1)泵的结构上存在有害空间(见图6)，该空间中的气体是无法排除的。
当旋片转过排 气口后，这一部分气体又被压缩，经过转子与泵腔间的缝隙又回到吸气空间，所以每次 总有些气体排不尽。
图六：泵结构的有害空间图 (2)由于在泵工作时，泵腔的吸气空间与排气空间存在着一定的压力差。
当排气空间 的气体被压缩得很小时，它的压力很高，会通过各种可能的途径突破到吸气空间去，使 泵真空度下降。
(3)泵油在泵体内循环流动过程中会溶解进大量气体和蒸气。
在吸气侧，因为压力较 低，溶解的气体又会跑出来，使泵的真空度不易提高。
为了提高泵的极限真空度，除了提高泵体、转子、旋片的加工精度，尽量减少装配间 隙和有害空间以外，最有效的办法是将两只单级泵串接起来，组成双级泵。
图7为双级泵的工作原理图。
泵由两个工作室组成。
两室前后串联，同向等速旋转，A 室是B室的前级，A是低真