LED管芯制作过程中透明电极表面异常的分析处理方法
【摘 要】本文综合分析了公司LED发光二级管芯片制造过程中透明电极表面异常产生的成因，控制改进的方法措施，介绍了公司运用QC质量管理小组方法在分析改进透明电极表面异常方面的经验教训，供从事LED管芯制造的同仁借鉴参考。
【关键词】LED发光二级管；芯片；透明电极；表面异常
1 公司背景
由西京电气总公司控股的西安中为光电科技有限公司主要从事LED外延及芯片产品的研究、开发、生产、销售和服务。公司依托西安电子科技大学在技术研发方面的优势，以宽禁带半导体材料与器件重点实验室为技术研发基地，开展了GaN基发光二极管的研究和产业化工作。近年来，对高质量GaN外延材料及管芯制备技术方面进行了深入细致的研究，关键技术取得了突破性进展，同时产业化工艺技术逐步成熟，持续改进，生产的紫光、蓝光、绿光LED芯片产品批量推向市场。公司在管芯制作过程中遇到了因透明电极（以氧化铟锡简称ITO材料制作的透明电极为例）表面异常造成的返工率居高不下的问题，因此成立了攻关型QC项目组，旨在降低ITO表面异常返工率，提高管芯前段产品合格率。
2 组成项目组
组成名为中为光电0%QC攻关型项目组，成员由公司的副总工程师牵头，公司的技术质量生产骨干组成，组内责任清楚，分工明确。
3 选择课题
选择课题（见图1）。
图1 管芯前段返工率统计直方图
根据图1对3月份我公司生产部前段主要返工原因的统计，我们可以看出ITO表面异常是返工的主要原因，针对此问题，我们组成攻关型QC小组，以提高产品质量为前提确定“降低ITO表面异常返工率”为我们本次活动的课题。
图2 课题确认流程图
4 设定目标
为完成活动要求2012年4-6月考核指标，项目组将活动目标定为：2012年1-3月 ITO表面异常合格率均值21.15%在4-6月降低至7-10%。
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