刀具PVD涂层蒸镀工艺机理及发展状况
【摘 要】当前，制造业已发生了革命性的转变，切削刀具制造技术的发展至关重要。由于刀具涂层技术可大幅度地提高切削刀具的综合性能，尤其是近年来PVD设计概念的提出，在理论上可有效地改善刀具的高温性能，使涂层刀具应用于高速、干式切削加工成为现实。
【关键词】刀具涂层；PVD技术；蒸镀工艺；发展状况
0.引言
先进刀具有三大技术基础：材料、涂层和结构创新。国内PVD涂层技术的研发工作始于八十年代初，八十年代中期研制成功中小型空心阴极离子镀膜机及高速钢刀具TiN涂层工艺技术。随着我国汽车工业的迅速崛起、先进制造技术的大量引进及数控加工技术大面积的普及，自本世纪初，PVD技术在国内掀起了第二次开发热潮。
先进的涂层设备为涂层技术的发展创造了重要条件，尤其是PVD涂层工艺技术，一方面，在改进控制技术，提高等离子体密度、提高磁场强度、改进阴极靶的形状、实现过程的计算机全自动控制等关键技术上取得了全面的进展，从而使涂层与基体的结合强度、涂层的性能有显著的提高。
1.PVD涂层蒸镀技术机理
1.1 PVD涂层概述。
1.1.1 PVD简介
PVD是英文Physical Vapor Deposition（物理气相沉积）的缩写，是指在真空条件下，采用低电压、大电流的电弧放电技术，利用气体放电使靶材蒸发并使被蒸发物质与气体都发生电离，利用电场的加速作用，使被蒸发物质及其反应产物沉积在工件上。它的作用是可以是某些有特殊性能（强度高、耐磨性、散热性、耐腐性等）的微粒喷涂在性能较低的母体上，使得母体具有更好的性能！
PVD 法中有蒸镀、离子镀、溅射镀等三种方法。在各种方法中，由于蒸发、等离子化（离子化 ）手段的不同，有各种各样的方法。
1.1.2涂层PVD蒸镀技术
1.2 PVD涂层蒸镀技术机理
1.2.1真空蒸发的主要制备
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