激光干涉仪实验报告

基于激光干涉仪的CA6140机床精度测量实验 一、实验目的与要求

1.了解雷尼绍XL-80激光干涉仪的工作原理；

2.掌握雷尼绍XL-80激光干涉仪的的使用方法；

3.掌握普通机床Z轴定位精度、重复定位精度的测量方法；

4.掌握普通机床定位误差数据的处理方法。

二、实验仪器与设备

1.雷尼绍XL-80激光干涉仪一台；

2.CA6140机床一台。

三、实验原理

图1 线性定位精度测量原理图

来自XL-80激光头的光束进入线性干涉镜，在此光束被分成两束。一束光（称为参考光束）被引向装在分光镜上的反射镜，另一束光（测量光束）则穿过分光镜到达第二个反射镜。然后，两束光都被反射回分光镜，在此它们重新组合并被导回到激光头，激光头内的探测器监测两束光之间的干涉。

一般在线性测量过程中，一个光学组件保持静止不动，另一个光学组件沿线性轴移动。通过监测测量光束和参考光束之间的光路差异的变化，产生定位精度测量值（注意，它是两个光学组件之间的差异测量值，与XL激光头的位置无关）。此测量值可以与理想位置比较，获得机床的精度误差。

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